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抗蝕劑是一種在特定條件下能夠發(fā)生化學或物理變化的材料，主要用于在電子束曝光、光刻等微納加工技術中形成所需的圖形。抗蝕劑根據(jù)其響應的輻射類型不同，可以分為電子抗蝕劑和光致抗蝕劑兩大類。電子抗蝕劑主要用于電子束曝光技術，而光致抗蝕劑則通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化，用于光刻工藝過程中。

抗蝕劑檢測范圍

防水涂料、硅酮涂料、金屬涂層、防腐劑、聚合物涂層、硫酸鉬、防銹油、有機涂料、焊縫抗蝕劑、防腐油漆等。

抗蝕劑檢測項目

表面形貌觀察、耐低溫性、電化學阻抗譜、耐酸性、硬度、粘結力、腐蝕速率、電導率、張力、附著力、光譜分析、耐堿性、耐腐蝕性、顯微觀察、膜厚、粒度分析、耐鹽性、耐高溫性、氣候老化試驗等。

抗蝕劑檢測標準(部分)

GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范

SAE AMS3111-1945 化合物，鉻酸鋅，抗蝕劑

GB/T 29846-2013 印制板用光成像耐電鍍抗蝕劑

DIN 50455-2:1999 半導體技術用材料的試驗.表征光敏抗蝕劑的方法.第2部分:陽極光敏抗蝕劑的光敏度的測定

GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范

ASTM F582-78(1991)e1 無機污染物分析用光致抗蝕劑的制備實施規(guī)程

GM1894M-1988 發(fā)動機冷卻液抗腐蝕劑

T/ZZB 3086-2023 混凝土用耐侵蝕抗裂劑

DIN 50455-1:1991 半導體工藝材料的檢驗.表示光致抗蝕劑特性的方法.第1部分:用光學測量法對涂層厚度的測定

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抗蝕劑檢測流程

1、溝通需求(在線或電話咨詢);

2、寄樣(郵寄樣品支持上門取樣);

3、初檢(根據(jù)客戶需求確定具體檢測項目);

4、報價(根據(jù)檢測的復雜程度進行報價);

5、簽約(雙方確定--簽訂保密協(xié)議);

6、完成實驗(出具檢測報告，售后服務)。

檢測報告作用

1、為產(chǎn)品提供進出口服務。

2、為相關的研究論文提供數(shù)據(jù)。

3、控制產(chǎn)品品質(zhì)，降低產(chǎn)品成本。

4、根據(jù)檢測報告的數(shù)據(jù)，改進產(chǎn)品質(zhì)量。

5、協(xié)助公檢法部門對樣品質(zhì)量進行檢測或成分化驗。

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